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    產品展示 / products 您的位置:網站首頁 > 產品展示 > 氣體質量流量計 > Brooks質量流量計 > Brooks SLA5851S 質量流量計

    Brooks SLA5851S 質量流量計

    簡要描述:Brooks SLA5851S 質量流量計關鍵應用:化學品與石化分析和試驗過程;實驗室和分析系統;生命科學實驗室;薄膜氣相沉積;熱處理、切割等其他熱過程;真空應用。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2021-03-08
    • 訪  問  量:857
    詳情介紹

    關鍵應用

    • 化學品與石化分析和試驗過程
    • 實驗室和分析系統
    • 生命科學實驗室
    • 薄膜氣相沉積
    • 熱處理、切割等其他熱過程
    • 真空應用

     

     

    17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

    ±0.6% of SP (20- FS)

    ±0.12% of FS (<20% FS)

    1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

     

    Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

    ±0.9% of SP (20- FS)

    ±0.18% of FS (2-20% FS)

    1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

    模擬通訊

    0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

     

    數字通訊 DeviceNet™
    EtherCAT®
    EtherNet/IP™
    FOUNDATIONTM Fieldbus
    Profibus®
    PROFINET
    RS-485

     



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