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    Brooks質量流量計(金屬轉子流量計)

    簡要描述:Brooks質量流量計能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計,長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2023-12-12
    • 訪  問  量:856
    詳情介紹

    Brooks質量流量計儀表應用:

    1.光端機。

    2.LED/MOCVD。

    3.半導體。

    4.太陽能。


    Brooks質量流量計儀表特點:

    1.長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%。

    2.能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計。

    3.流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm。

    4.高壓額定值 - 高達 1,500 psi。

    5.可選增強型內部后處理工藝 - 5? 英寸 Ra(平均值)。

    6.可拆卸式流量傳感器。

    7.不受安裝角度影響。

    8.其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容。

    9.TTL 兼容型"閥關閉"和吹掃功能。

    Brooks質量流量計儀表優勢:

    1.全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風險。

    2.在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性。

    3.由于性能可靠,因此投資回報率出眾。

    4.采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節。

    5.由于模擬量僅為輸入/輸出,因此易于安裝和保養。

     

     

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