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          Brooks質量流量計(金屬轉子流量計)

          簡要描述:Brooks質量流量計能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計,長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%。

          • 產品型號:
          • 廠商性質:代理商
          • 更新時間:2024-03-12
          • 訪  問  量:1222
          詳情介紹

          Brooks質量流量計儀表應用:

          1.光端機。

          2.LED/MOCVD。

          3.半導體。

          4.太陽能。


          Brooks質量流量計儀表特點:

          1.長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%。

          2.能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計。

          3.流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm。

          4.高壓額定值 - 高達 1,500 psi。

          5.可選增強型內部后處理工藝 - 5? 英寸 Ra(平均值)。

          6.可拆卸式流量傳感器。

          7.不受安裝角度影響。

          8.其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容。

          9.TTL 兼容型"閥關閉"和吹掃功能。

          Brooks質量流量計儀表優勢:

          1.全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風險。

          2.在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性。

          3.由于性能可靠,因此投資回報率出眾。

          4.采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節。

          5.由于模擬量僅為輸入/輸出,因此易于安裝和保養。

           

           

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